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SEM原位解決方案每一個(gè)設(shè)計(jì)作品都精妙

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Nano Energy:澤攸科技原位樣品桿應(yīng)用于半導(dǎo)體器件

日期:2018-08-15


   本期帶來的是一篇PicoFemto原位樣品桿新一代半導(dǎo)體器件研發(fā)中的應(yīng)用,場效應(yīng)晶體管在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中,由壓電材料(氧化鋅等)作為門控的場效應(yīng)管在近年獲得了廣泛關(guān)注。本文利用STM-TEM原位樣品桿搭載單根氧化鋅納米線,并在TEM中原位操縱、測量和觀測。研究表明,當(dāng)我們使用STM探針對氧化鋅納米線施加2.63%的應(yīng)力后,該材料的電導(dǎo)率會驟降2個(gè)數(shù)量級。結(jié)合TEM的觀測結(jié)果我們發(fā)現(xiàn),這種電導(dǎo)率的變化與接觸點(diǎn)處肖克力勢壘無關(guān),而是源自氧化鋅納米線橫向壓電潛能帶來的載流子損耗。相關(guān)研究由日本NIMS、中科院物理所和量子物質(zhì)合作創(chuàng)新共同完成,成果發(fā)表在《Nano Energy》上(Nano Energy (2015)13, 233-239)。

   澤攸科技的PicoFemto原位樣品桿在該研究中穩(wěn)定而準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)了搭載樣品、電學(xué)測量以及施加應(yīng)力的任務(wù)。

原位樣品桿實(shí)驗(yàn)
原位樣品桿應(yīng)用
   氧化鋅納米線一端被固定在金針上,另一端通過鎢針對其施加應(yīng)力。
原位樣品桿理論模型實(shí)驗(yàn)結(jié)果的支持   
理論模型對實(shí)驗(yàn)結(jié)果的支持

 
原位樣品桿應(yīng)用器件模型

應(yīng)用器件模型

 

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  5. 原位TEM/SEM加熱/電化學(xué)/電學(xué)/液體多功能測量系統(tǒng)

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  7. 原位TEM/SEM流動式氣體測量系統(tǒng)

 

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安徽澤攸科技有限公司

ZepTools Technology Co., Ltd.

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電話:18817557412(微信同號)
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作者:小攸


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