影響掃描電鏡分辨率的因素有哪些
日期:2022-12-20
掃描電鏡相比普通顯微鏡分辨率更高,成像立體效果更好,已應(yīng)用于諸多領(lǐng)域,提到分辨率,哪些因素會對掃描電鏡造成影響呢?
1、透鏡的球差、色差等像差導(dǎo)致分辨率降低。
2、入射電子束同樣品相互作用降低了分辨率。電子在進(jìn)入固體后,將在其中發(fā)生一系列的散射,這些散射過程根據(jù)能量變化可分為彈性散射和非彈性散射兩個基本過程。
3、信噪比也影響了掃描電鏡的分辨率。
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作者:澤攸科技
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