掃描電鏡樣品常用鍍膜材料有哪些?
日期:2022-12-28
非導(dǎo)電樣品絕緣電阻大,在電子束掃描下,樣品表面逐漸積累負(fù)電荷,排斥入射電子,二次電子發(fā)射不穩(wěn)定,并隨機(jī)偏轉(zhuǎn)二次電子,造成圖像晃動、亮度突變、出現(xiàn)無規(guī)則的明暗條紋,也就是所謂的 “荷電效應(yīng) ”。
通常在樣品表面鍍一層導(dǎo)電膜可以提高樣品的導(dǎo)電性,表面的負(fù)電荷通過導(dǎo)電膜釋放入地,消除荷電。電荷釋放的前提是膜層須與金屬樣品臺相連接,形成導(dǎo)電通道,此外連續(xù)的導(dǎo)電膜也可以提高樣品的導(dǎo)熱性,減小熱損傷。目前常用的鍍膜技術(shù)為真空蒸發(fā)和離子濺射。
常用的鍍膜材料有C、 Al、 Cr、 Au-. Pt、 Au-Pd合金。金膜二次電子產(chǎn)率高、覆蓋性好、鍍膜容易,是常用的材料,但顆粒較大,適用于中低范圍的分辨率、兩萬倍以下的圖像。Pt和Au-Pd合金膜的顆粒要細(xì)得多,適用于高分辨率圖像。 使用場發(fā)射電鏡對膜層要求更高,至少要在20萬倍下膜層不能顯現(xiàn)結(jié)構(gòu),高真空鍍Cr可以滿足要求o C膜均勻性好,導(dǎo)電導(dǎo)熱效率高,又是經(jīng)濟(jì)的材料,只是二次電子產(chǎn)率低,不適合高倍圖像。
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作者:澤攸科技
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