掃描電鏡能譜儀的幾種工作模式
日期:2023-02-07
掃描電鏡能譜儀是用來(lái)對(duì)材料微區(qū)成分進(jìn)行分析的一種儀器,通常配合掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡及掃描透射電子顯微鏡使用。其工作模式一般為以下幾個(gè)方面。
點(diǎn)分析
電子束固定再試樣感興趣的點(diǎn)上,進(jìn)行定性或定量分析。該方法準(zhǔn)確度高,用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析,對(duì)低含量元素定量的試樣,只能用點(diǎn)分析。
線掃描
電子束沿一條分析線進(jìn)行掃描時(shí) ,能獲得元素含量變化的線分布曲線 。結(jié)果和試樣形貌像對(duì)照分析能直觀地獲得元素在不同相或區(qū)域內(nèi)的分布 。
元素面分布
電子束在試樣表面掃描時(shí),元素在試樣表面的分布能在屏幕上以亮度(或彩色)分布顯示出來(lái),亮度越亮說(shuō)明元素含量越高。研究材料中雜質(zhì)、相的分布和元素偏析常用此方法。
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作者:澤攸科技