掃描電鏡（SEM）信號探測是指利用掃描電鏡產(chǎn)生的不同信號來探測樣品表面的形貌、結(jié)構(gòu)和成分等信息的過程。掃描電鏡的主要信號有以下幾種：

二次電子信號：由于樣品表面與電子束的相互作用，產(chǎn)生大量二次電子。這些電子被探測器接收，形成圖像。SE信號主要反映樣品表面形貌。

回散電子信號：高能電子與樣品原子相互作用，被散射到不同方向。其中，被散射角度較大的電子被探測器接收，形成圖像?；厣㈦娮有盘栔饕从硺悠返幕瘜W(xué)成分和密度等信息。

X射線熒光信號：當電子束與樣品相互作用時，會產(chǎn)生X射線。這些X射線被探測器接收，可以分析樣品的元素成分和含量。

次級離子信號：電子束與樣品相互作用時，會產(chǎn)生大量次級離子。這些離子被探測器接收，可以分析樣品的化學(xué)成分。

光學(xué)信號：SEM中還可以加入一些光學(xué)附件，如偏振器、散光鏡等，探測樣品的光學(xué)性質(zhì)。

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