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臺(tái)式掃描電鏡光闌的主要作用

日期:2023-05-08

臺(tái)式掃描電鏡(SEM)光闌是位于電子槍出口處的一個(gè)圓形金屬片,其作用是限制電子束的直徑和控制束斑的形狀,以便獲得高分辨率的SEM圖像。具體來(lái)說(shuō),光闌主要有以下兩個(gè)作用:

控制電子束的直徑:光闌的中心孔洞大小決定了電子束的直徑。通過(guò)調(diào)節(jié)光闌的孔徑大小,可以控制束斑的直徑,從而控制電子束的聚焦程度。這對(duì)于SEM圖像的分辨率非常重要,因?yàn)楦〉氖呖梢蕴峁└叩姆直媛屎透逦膱D像。

控制電子束的形狀:光闌可以調(diào)整束斑的形狀,通常使用的是圓形或橢圓形。這是因?yàn)樵诠鈱W(xué)鏡頭中,光線會(huì)被聚焦成圓形或橢圓形的光斑,而電子顯微鏡也使用類(lèi)似的聚焦原理。光闌可以幫助SEM控制束斑的形狀,從而獲得更好的SEM圖像。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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綜上所述,光闌是臺(tái)式掃描電鏡系統(tǒng)中非常重要的組成部分,它能夠控制電子束的直徑和形狀,從而獲得高分辨率和清晰的圖像。因此,保持光闌的清潔和良好狀態(tài)對(duì)于SEM的正常運(yùn)行和成像非常重要。

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作者:澤攸科技


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