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掃描電鏡中電子束偏移或漂移的原因及解決方法?

日期:2023-05-11

掃描電鏡中電子束偏移或漂移的原因可能包括以下幾個(gè)方面:

環(huán)境因素:如溫度、濕度、振動(dòng)等因素可能會(huì)影響掃描電鏡的精度,導(dǎo)致電子束漂移或偏移。

樣品表面不均勻:樣品表面不均勻或粗糙,可能會(huì)影響電子束的掃描質(zhì)量,從而導(dǎo)致電子束漂移或偏移。

電子槍偏差:電子槍偏差可能會(huì)導(dǎo)致電子束的方向不正確,從而導(dǎo)致電子束漂移或偏移。

電子束自身問題:如電子束聚焦不良、電子束能量分布不均等問題,可能會(huì)導(dǎo)致電子束漂移或偏移。

常見解決方法:

調(diào)整電子束參數(shù):嘗試調(diào)整電子束的聚焦和加速電壓、亮度等參數(shù),使電子束更穩(wěn)定、準(zhǔn)確。

清潔樣品:如果樣品表面不均勻或粗糙,可以嘗試用適當(dāng)?shù)姆椒ㄇ鍧崢悠繁砻?,以改善掃描質(zhì)量。

調(diào)整電子槍位置:調(diào)整電子槍位置,使電子束方向正確,減少電子束漂移或偏移。

檢查儀器環(huán)境:保持掃描電鏡所在的環(huán)境穩(wěn)定,避免溫度、濕度、振動(dòng)等因素對(duì)儀器精度的影響。

更換電子槍或其他部件:如果以上方法都不能解決問題,建議更換電子槍或其他部件,或者聯(lián)系掃描電鏡的廠家或維修服務(wù)商進(jìn)行進(jìn)一步檢修。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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作者:澤攸科技


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