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如何正確操作掃描電鏡的聚焦和對準(zhǔn)功能

日期:2023-05-24

正確操作掃描電鏡的聚焦和對準(zhǔn)功能是獲得清晰圖像的關(guān)鍵。下面是一些操作步驟和注意事項:

聚焦功能:

(1)確保電子束發(fā)射源(例如熱陰極或場發(fā)射陰極)處于正常工作狀態(tài)。

(2)啟動掃描電鏡并預(yù)熱一段時間,以使設(shè)備達到穩(wěn)定工作狀態(tài)。

(3)調(diào)節(jié)聚焦控制器,使電子束的焦點盡可能小且集中。通常,聚焦控制器是一個旋鈕或按鈕,根據(jù)設(shè)備型號可能有不同的標(biāo)識和操作方式。

(4)使用樣品中的明顯特征(如顆?;蜻吘墸┳鳛閰⒖迹饾u調(diào)節(jié)聚焦控制器,直到獲得清晰的圖像。

對準(zhǔn)功能:

(1)確保掃描電鏡的對準(zhǔn)系統(tǒng)已經(jīng)校準(zhǔn)并處于工作狀態(tài)。

(2)確定要對準(zhǔn)的特定區(qū)域或特征,并將其置于視野中心。

(3)使用對準(zhǔn)控制器進行微調(diào),移動樣品臺或激光束(如果設(shè)備配備了激光對準(zhǔn)系統(tǒng)),以使特征在視野中居中。

(4)根據(jù)需要進行水平和垂直方向上的對準(zhǔn)調(diào)整,確保樣品與電子束的準(zhǔn)確對準(zhǔn)。

注意事項:

(1)在進行聚焦和對準(zhǔn)操作之前,確保樣品已經(jīng)適當(dāng)安裝并固定在樣品臺上,并且樣品臺水平調(diào)平。

(2)遵循設(shè)備制造商的操作手冊和建議,因為不同的掃描電鏡可能具有不同的控制器和對準(zhǔn)方式。

(3)小心操作控制器,進行微調(diào)時逐步進行,避免過度調(diào)整造成過度聚焦或?qū)?zhǔn)不準(zhǔn)確。

(4)注意保持環(huán)境的穩(wěn)定性,如避免振動或溫度變化,以確保對準(zhǔn)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

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作者:澤攸科技


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