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如何進行掃描電鏡中的元素分析

日期:2023-05-25

要進行掃描電鏡中的元素分析,通常使用能譜儀或能譜分析系統(tǒng)。以下是一般的步驟和注意事項:

樣品制備:準備適合元素分析的樣品,并確保樣品表面平整、干凈。對于不導電的樣品,通常需要進行金屬薄膜涂覆或使用導電膠固定。

調整掃描電鏡參數(shù):選擇適當?shù)募铀匐妷汉碗娮邮鲝姸?。根?jù)樣品性質和所需分辨率進行參數(shù)調整。確保掃描電鏡處于穩(wěn)定狀態(tài)。

能譜儀或能譜分析系統(tǒng)設置:將能譜儀或能譜分析系統(tǒng)與掃描電鏡連接,并進行必要的設置和校準。確保能譜儀或能譜分析系統(tǒng)正常工作。

定位感興趣區(qū)域:使用低放大倍數(shù)進行預覽,確定感興趣的區(qū)域。使用掃描電鏡的定位功能,將感興趣的區(qū)域準確放置在掃描電鏡的視野中。

開始元素分析:選擇感興趣的區(qū)域,并進行元素分析。可以使用點狀掃描或線狀掃描來獲取所選區(qū)域的元素譜線。

采集能譜數(shù)據(jù):開始采集能譜數(shù)據(jù),通常是通過電子束與樣品相互作用而產(chǎn)生的特征X射線信號。能譜儀或能譜分析系統(tǒng)將這些信號轉換為能譜圖。

能譜分析:對采集到的能譜圖進行分析,識別并定量元素的存在和含量??梢允褂米V庫比對、峰面積積分等方法進行元素識別和定量。

數(shù)據(jù)處理:對元素分析數(shù)據(jù)進行處理和解釋,包括生成譜圖、元素分布圖以及定量結果??梢允褂脤I(yè)的數(shù)據(jù)處理軟件進行數(shù)據(jù)分析和可視化。

記錄和文檔:記錄實驗參數(shù)、采集數(shù)據(jù)和分析結果。生成報告或文檔以保存實驗數(shù)據(jù)和觀察發(fā)現(xiàn)。

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作者:澤攸科技


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