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臺(tái)式掃描電鏡如何處理和觀察非導(dǎo)電樣品

日期:2024-08-06

處理和觀察非導(dǎo)電樣品是臺(tái)式掃描電鏡(SEM)中的一個(gè)常見問題,因?yàn)閭鹘y(tǒng)的SEM通常需要樣品具有一定的導(dǎo)電性才能獲得良好的圖像質(zhì)量。以下是處理和觀察非導(dǎo)電樣品的一些方法和技術(shù):

樣品處理前的準(zhǔn)備:

導(dǎo)電涂層: 將非導(dǎo)電樣品表面涂覆一層導(dǎo)電性材料,如金屬(通常使用金屬薄膜沉積儀器)或碳(使用碳濺射或碳噴涂?jī)x器)。這些導(dǎo)電涂層可以提高樣品表面的導(dǎo)電性,從而改善電子束的導(dǎo)電性。

低真空模式:

一些現(xiàn)代臺(tái)式SEM設(shè)備具備低真空模式功能,允許在較低真空環(huán)境下觀察非導(dǎo)電樣品。這種模式下,樣品表面的氣體分子作為電子的散射源,使得即使在非導(dǎo)電條件下,也能夠獲得相對(duì)較好的圖像。

輔助導(dǎo)電涂層:

使用導(dǎo)電性粉末或噴劑(如導(dǎo)電粘貼劑),在樣品表面均勻覆蓋一層薄膜。這些粉末或噴劑在掃描電鏡中通常會(huì)快速蒸發(fā),留下一個(gè)微薄的導(dǎo)電層,有助于提高電子束的導(dǎo)電性。

低能電子模式:

一些SEM設(shè)備具備低能電子模式,允許使用較低能量的電子束來觀察樣品。這種模式下,即使在非導(dǎo)電樣品上,也可以減少電子束的散射和表面充電效應(yīng),提高圖像的對(duì)比度和清晰度。

表面處理技術(shù):

對(duì)于特定的非導(dǎo)電樣品,例如生物樣品或聚合物樣品,可以考慮使用特殊的表面處理技術(shù),如化學(xué)修飾、冷凍切片或者冷凍干燥,以減少表面電荷效應(yīng)并改善導(dǎo)電性。

樣品夾持和調(diào)整:

在加載樣品到SEM前,確保樣品夾持穩(wěn)固并避免靜電積聚。準(zhǔn)確調(diào)整SEM的工作距離和加速電壓,以減少表面電荷效應(yīng)對(duì)圖像質(zhì)量的影響。

這些方法通??梢越Y(jié)合使用,以便在臺(tái)式掃描電鏡中成功處理和觀察非導(dǎo)電樣品,獲得高質(zhì)量的顯微圖像和數(shù)據(jù)。

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作者:澤攸科技


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