掃描電子顯微鏡主要用于觀察什么?掃描電鏡有哪些特點?
日期:2021-03-04
掃描電子顯微鏡主要用于觀察什么?掃描電鏡有哪些特點?下面澤攸科技小編就為大家講解一下。掃描電子顯微鏡(SEM)是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)。掃描電子顯微鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進行微觀成像。
從原理上講,掃描電子顯微鏡(SEM)是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
掃描電子顯微鏡(SEM)可以直接觀察觀察納米材料,進行材料斷口的分析,直接觀察原始表面等。
掃描電子顯微鏡(SEM)的特點
和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電子顯微鏡(SEM)具有以下特點:
(一)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。
(四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡(SEM)的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
(七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發(fā)出的其他信號作微區(qū)成分分析。
ZEM臺式掃描電鏡
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作者:小攸