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臺(tái)式掃描電鏡的工作原理

日期:2021-08-09

1960年代,掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope)問世,它利用高能電子束對(duì)樣品進(jìn)行掃描成像。 電子與構(gòu)成樣品的原子的相互作用可以產(chǎn)生包含樣品表面的形貌、成分和其他信息的信號(hào)。接下來澤攸小編將主要介紹一下臺(tái)式掃描電鏡的工作原理。

從原理上講,掃描電子顯微鏡是利用非常精細(xì)聚焦的高能電子束在樣品上掃描,激發(fā)各種物理信息。 通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,可以獲得對(duì)試樣表面形貌的觀察
。
掃描電子顯微鏡(SEM)——一種電子光學(xué)儀器,它利用很細(xì)的電子束掃描被觀察樣品的表面,收集電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息,并對(duì)圖像進(jìn)行變換和放大。它是研究三維表面結(jié)構(gòu)的有用工具。在高真空鏡筒中,電子槍產(chǎn)生的電子束通過電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束,然后逐點(diǎn)掃描轟擊樣品表面。產(chǎn)生一系列電子信息(二次電子、背反射電子、透射電子、吸收電子等),檢測(cè)器接收各種電子信號(hào),經(jīng)電子放大器放大后輸入到顯像管控制的顯像管。顯像管網(wǎng)格。當(dāng)聚焦的電子束掃描樣品表面時(shí),樣品的不同部位具有不同的物理、化學(xué)性質(zhì)、表面電位、元素組成和不均勻的形貌,從而產(chǎn)生不同的電子束激發(fā)的電子信息,從而導(dǎo)致電子顯像管的光束強(qiáng)度也不斷變化,zui終在顯像管的熒光屏上可以得到與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。根據(jù)探測(cè)器接收到的不同電子信號(hào),可以分別得到樣品的背散射電子圖像、二次電子圖像和吸收電子圖像。 掃描電子顯微鏡的分辨率可達(dá)50~100?,電子放大倍數(shù)可連續(xù)變化十倍至幾十萬倍。因此,可以仔細(xì)觀察樣品的整個(gè)表面。       


            臺(tái)式掃描電鏡

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希望澤攸科技小編的介紹能為對(duì)臺(tái)式掃描電鏡的工作原理的研究提供參考,關(guān)于掃描電鏡價(jià)格請(qǐng)咨詢18817557412(微信同號(hào))

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