ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹
日期:2022-06-06
ZEM15臺式掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)、探測器、電路控制系統(tǒng)、信號采集系統(tǒng)和操作軟件均為澤攸科技自主研制。特別研制的電子光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),使拍攝圖片具有更高的信噪比和對比度。配合很高的信號采集帶寬,可以在視頻幀率下高質(zhì)量的流暢顯示樣品。只需鼠標(biāo)就可完成所有操作,無需光闌對中等復(fù)雜步驟。主機(jī)集成高壓及控制系統(tǒng),是目前市面上體積較小的臺式掃描電鏡,便于移動,安裝無需特殊環(huán)境。
ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能:
一、利用背散射電子衍射信號對樣品物質(zhì)進(jìn)行晶體結(jié)構(gòu)(原子在晶體中的排列方式),晶體取向分布分析,基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。
二、在半導(dǎo)體器件(IC)研究中的特殊應(yīng)用:
1)利用電子束感生電流EBIC進(jìn)行成像,可以用來進(jìn)行集成電路中pn結(jié)的定位和損傷研究
2)利用樣品電流成像,結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路,因此電阻襯度像經(jīng)常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導(dǎo)電形式。
3)利用二次電子電位反差像,反映了樣品表面的電位,從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況,特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。
三、顯示化學(xué)成分的空間變化,基于化學(xué)成分的相鑒定——-化學(xué)成分像分布,微區(qū)化學(xué)成分分析
1)用x射線能譜儀或波譜采集特征X射線信號,生成與樣品形貌相對應(yīng)的,元素面分布圖或者進(jìn)行定點(diǎn)化學(xué)成分定性定量分析,相鑒定。
2)利用背散射電子基于平均原子序數(shù)(一般和相對密度相關(guān))反差,生成化學(xué)成分相的分布圖像;
3)利用陰極熒光,基于某些痕量元素受電子束激發(fā)的光強(qiáng)反差,生成的痕量元素分布圖像。
4)利用樣品電流,基于平均原子序數(shù)反差,生成的化學(xué)成分相的分布圖像,該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。
5)利用俄歇電子,對樣品物質(zhì)表層進(jìn)行化學(xué)元素分布的定性定理分析。
四、掃描電子顯微鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌,形態(tài)圖像-形貌分析(表面幾何形態(tài),形狀,尺寸)。
以上就是澤攸科技小編為大家介紹的ZEM15臺式掃描電鏡的四大功能介紹,如果您還想要了解更多ZEM15臺式掃描電鏡功能及價格,歡迎您咨詢18817557412(微信同號)
作者:澤攸科技
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