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你知道影響掃描電鏡分辨率的因素有哪些嗎?

日期:2022-06-13

你知道影響掃描電鏡分辨率的因素有哪些嗎?下面澤攸科技小編為您介紹一下。掃描電鏡有多項(xiàng)性能和技術(shù)指標(biāo),例如:分辨率、放大倍率誤差、低倍畸變、束流穩(wěn)定性、樣品污染率、真空度、換樣品抽真空時(shí)間、開(kāi)機(jī)到工作抽真空時(shí)間、樣品臺(tái)位移距離等,這些均有量化指標(biāo)。其中,掃描電鏡的分辨率、放大倍數(shù)等參數(shù)又是選購(gòu)參考的重要點(diǎn)。


sem掃描電鏡分辨率重要性


分辨率是掃描電鏡很重要指標(biāo),它反映了儀器的綜合性能。各種類(lèi)型的掃描電鏡分辨率不同,導(dǎo)致了儀器進(jìn)入做微觀領(lǐng)域的尺度有差異,這也是不同檔次掃描電鏡的賣(mài)點(diǎn)。用戶(hù)很關(guān)心這個(gè)指標(biāo)是否符合要求。對(duì)于廠家工程師來(lái)說(shuō),拍攝分辨率照片也是一項(xiàng)技術(shù)挑戰(zhàn),要把掃描電鏡各個(gè)環(huán)節(jié)調(diào)整到很好的狀態(tài),選用幾乎苛刻的操作條件,反復(fù)拍照,直到拿出滿(mǎn)意照片為止。


影響掃描電鏡分辨率因素:電子源,燈絲是電子源的提供者,也是掃描電鏡很重要的部件,燈絲所發(fā)射電子的密度、束斑尺寸、能量分布將決定性影響掃描電鏡的分辨率。

掃描電鏡拍攝圖13.jpg

1、鎢燈絲


鎢燈絲具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、束流大、真空要求低、易更換等優(yōu)點(diǎn),但是由于其束流密度小、信噪比差、化學(xué)穩(wěn)定性差、且使用壽命短(80-100h),因此,在使用過(guò)程中需要高頻率的更換燈絲,以確保掃描電鏡保持較為穩(wěn)定的分辨率。



 2、CeB6燈絲


CeB6燈絲亮度為1000A/cm2,是鎢燈絲亮度的10倍,因此具有更高的分辨率。CeB6燈絲具有更好的抗干擾能力,工作溫度為1800K,遠(yuǎn)低于鎢燈絲工作溫度(2800K),燈絲揮發(fā)量相對(duì)較小,因此使用壽命基本都可達(dá)到1500h,如果再加以規(guī)范管理,使用壽命可進(jìn)一步延長(zhǎng)。

臺(tái)式掃描電鏡1.jpg

臺(tái)式掃描電鏡

上述內(nèi)容就是澤攸科技小編介紹的影響掃描電鏡分辨率的因素。更多關(guān)于sem掃描電鏡的問(wèn)題可以直接咨詢(xún)18817557412(微信同號(hào))

臺(tái)式掃描電鏡


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掃描電鏡

作者:澤攸科技


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