SEM掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面并捕捉其反射、散射或二次電子發(fā)射等信號進行成像的高分辨率顯微技術(shù)。SEM的測量范圍取決于其加速電壓、焦距、探針電流等參數(shù)，一般來說，SEM的測量范圍可以從亞納米級到毫米級不等。

具體來說，低加速電壓和小探針電流可以提高SEM的表面靈敏度和成像分辨率，適合對表面細節(jié)、納米結(jié)構(gòu)、微小顆粒等進行觀察和分析，其測量范圍一般在亞微米至幾毫米左右；而高加速電壓和大探針電流可以提高SEM的透射深度和成像速度，適合對比較厚的樣品、大面積表面形貌等進行觀察和分析，其測量范圍可以擴展至數(shù)毫米。因此，SEM是一種非常靈活和多功能的顯微技術(shù)，可以滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的觀察和分析需求。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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