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掃描電鏡常見(jiàn)的連接設(shè)備有哪些

日期:2023-02-23

掃描電鏡(SEM)是一種高分辨率成像技術(shù),可以用于觀察樣品的表面形態(tài)和結(jié)構(gòu)。在使用中,可以將SEM與其他測(cè)量設(shè)備(如EDS、EBSD等)連接起來(lái),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品成分和結(jié)構(gòu)的更全的分析和表征。以下是幾種常見(jiàn)的掃描電鏡連接設(shè)備。

EDS分析:EDS(能量分散X射線(xiàn)光譜)是一種常用的SEM連接測(cè)量技術(shù),可以用于分析樣品中的元素成分。通過(guò)將EDS探測(cè)器連接到SEM上,可以在成像的同時(shí)進(jìn)行元素分析,獲得樣品的元素組成信息。

EBSD分析:EBSD(電子背散射衍射)是一種SEM連接測(cè)量技術(shù),可以用于分析樣品的結(jié)構(gòu)和晶體學(xué)性質(zhì)。通過(guò)將EBSD探測(cè)器連接到SEM上,可以在成像的同時(shí)進(jìn)行晶體學(xué)分析,獲得樣品的晶體學(xué)信息和晶體結(jié)構(gòu)。

CL分析:CL(熒光)是一種常用的SEM連接測(cè)量技術(shù),可以用于分析樣品的光學(xué)性質(zhì)。通過(guò)將CL探測(cè)器連接到SEM上,可以在成像的同時(shí)進(jìn)行光學(xué)分析,獲得樣品的熒光信息和光學(xué)特性。

AFM分析:AFM(原子力顯微鏡)是一種高分辨率的表面形貌測(cè)量技術(shù),可以與SEM連接起來(lái)用于對(duì)樣品進(jìn)行更全的表征。通過(guò)將AFM探針與SEM成像區(qū)域重合,可以在SEM成像的同時(shí)進(jìn)行高分辨率的表面形貌測(cè)量,獲得樣品的表面形態(tài)信息。

總之,連接測(cè)量方式可以為SEM成像提供更全的信息,使得樣品的成分、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)可以得到更詳細(xì)的表征。不同的連接測(cè)量技術(shù)可以根據(jù)需要選擇,以獲得合適的分析結(jié)果。

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作者:澤攸科技


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