掃描電鏡的結(jié)構(gòu)組成
日期:2023-02-28
掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用,產(chǎn)生反射、透射、散射等信號,通過信號的捕捉與分析,獲取樣品表面形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息的儀器。它的結(jié)構(gòu)組成包括以下幾個主要部分:
電子槍:產(chǎn)生高能電子束的部分,通常由熱陰極或場發(fā)射陰極構(gòu)成,可以控制電子束的亮度和聚焦效果。
操作系統(tǒng):包括控制臺、屏幕、鍵盤、鼠標(biāo)等,用于對SEM的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行設(shè)定、控制和調(diào)整。
樣品臺:用于固定待觀察的樣品,并提供旋轉(zhuǎn)、傾斜等操作,以便不同角度下的觀察。
掃描線圈:通過控制掃描線圈的電流,產(chǎn)生磁場,控制電子束的掃描路徑,從而實(shí)現(xiàn)對樣品表面的掃描。
探測器:用于捕捉樣品表面反射、透射、散射等信號,并將信號轉(zhuǎn)化為電信號傳輸給圖像處理系統(tǒng)。
圖像處理系統(tǒng):將信號轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,進(jìn)行放大、增強(qiáng)、濾波等處理,產(chǎn)生高質(zhì)量的SEM圖像。
顯示器和存儲器:用于顯示處理后的圖像和存儲SEM圖像數(shù)據(jù)。
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作者:澤攸科技
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