掃描電鏡的標(biāo)準(zhǔn)配置介紹
日期:2023-03-27
掃描電鏡(SEM)是一種用于高分辨率表面形貌觀察和成分分析的儀器。通常,一個標(biāo)準(zhǔn)的掃描電鏡配置包括以下幾個主要部分:
電子槍:產(chǎn)生高速電子束的部件,通常采用熱陰極或場發(fā)射式電子槍。
電子透鏡系統(tǒng):通過電磁場對電子束進(jìn)行聚焦和控制,以形成高分辨率的電子束。
樣品臺:支撐待觀察的樣品,通常是旋轉(zhuǎn)和傾斜的,以便在多個角度下觀察樣品表面。
檢測系統(tǒng):通過探測樣品表面反射或散射的電子、X射線或者其他信號來生成圖像和分析樣品成分。
顯示和圖像處理系統(tǒng):將檢測到的信號轉(zhuǎn)化為可視化的圖像,同時提供圖像處理和分析功能。
真空系統(tǒng):提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境,保證電子束與樣品之間沒有氣體或者污染物質(zhì)的干擾。
此外,有些掃描電鏡還配備了一些附加功能,如樣品加熱或冷卻裝置、電子束的傾斜和旋轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)、特殊的探測器等,以滿足特定的實驗需求。
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作者:澤攸科技
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