掃描電鏡的使用方法及注意事項(xiàng)
日期:2023-04-06
掃描電鏡(SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,可以用于對固體、液體等樣品進(jìn)行觀察和分析。下面是SEM的使用方法:
樣品制備:對于固體樣品,通常需要將其表面處理,例如去除表面污染、涂覆導(dǎo)電膜等。對于液體樣品,需要將其固化或冷凍處理,并放置在導(dǎo)電性好的載體上。
裝載樣品:將樣品裝載到SEM的樣品臺上,并使用夾具或粘貼劑固定樣品。
調(diào)節(jié)SEM參數(shù):根據(jù)樣品特性,調(diào)節(jié)SEM的加速電壓、電子束聚焦、信號檢測參數(shù)等。
開始觀察:使用SEM的操縱臺,將電子束掃描到樣品表面,并觀察樣品的顯微圖像。可以使用不同的檢測模式,例如反射電子顯微鏡(Backscattered Electron,BSE)和二次電子顯微鏡(Secondary Electron,SE)等。
分析樣品:通過SEM觀察和分析樣品的形貌、結(jié)構(gòu)和成分等信息??梢允褂貌煌姆治黾夹g(shù),例如能譜分析(Energy-dispersive X-ray spectroscopy,EDS)和電子背散射衍射(Electron Backscatter Diffraction,EBSD)等。
保存數(shù)據(jù):將觀察和分析得到的數(shù)據(jù)保存到計(jì)算機(jī)或其他儲(chǔ)存介質(zhì)中,并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。
注意事項(xiàng):
SEM使用過程中需要保持樣品和SEM的干燥和真空環(huán)境,以避免樣品受潮或SEM受污染。
SEM操作需要進(jìn)行培訓(xùn)和授權(quán),遵守SEM使用安全規(guī)范。
在操作SEM過程中,需要避免對SEM設(shè)備和樣品造成損壞。
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作者:澤攸科技