掃描電子顯微鏡的原理
日期:2023-04-24
掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)是一種利用電子束與樣品相互作用,獲得高分辨率的顯微成像的儀器。其原理可以簡(jiǎn)單描述如下:
電子源發(fā)射出電子束,經(jīng)過一系列的透鏡系統(tǒng)進(jìn)行聚焦,使得電子束成為一個(gè)極細(xì)的束。
電子束與樣品相互作用,產(chǎn)生各種信號(hào),如二次電子、反射電子、散射電子等。
收集并處理這些信號(hào),形成樣品的圖像。
其中,二次電子是主要的信號(hào),它們是由于電子束與樣品表面原子相互作用而發(fā)射出來的。收集和處理二次電子信號(hào)可以獲得樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)信息。
掃描電子顯微鏡在成像時(shí),需要對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理,以保證電子能夠在樣品表面上流動(dòng),而不是被樣品表面電荷所阻擋。常見的導(dǎo)電處理方法包括金屬涂層、碳薄膜涂層、真空鍍膜等。
總的來說,掃描電子顯微鏡利用電子束與樣品相互作用,通過收集并處理二次電子信號(hào),獲得樣品表面的高分辨率圖像。
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掃描電子顯微鏡
臺(tái)式掃描電鏡
作者:澤攸科技
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