SEM掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)
日期:2023-04-28
SEM掃描電鏡是一種高分辨率的顯微鏡,它利用高能電子束與樣品表面相互作用,通過對樣品表面的電子信號進(jìn)行探測和分析,從而獲得樣品的形態(tài)、結(jié)構(gòu)和成分等信息。掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu)主要包括以下幾個部分:
電子槍:電子槍是掃描電鏡的核心部分,主要由熱陰極、加速電極和聚焦磁場等組成。電子槍產(chǎn)生的電子束在加速電極的加速下,形成高能電子束,從而對樣品進(jìn)行掃描。
樣品臺:樣品臺是用于支撐樣品的平臺,通常由三維微調(diào)臺和旋轉(zhuǎn)臺組成。樣品需要放置在樣品臺上,并通過微調(diào)和旋轉(zhuǎn)來準(zhǔn)確定位和調(diào)整。
掃描線圈:掃描線圈是用于控制電子束掃描范圍和掃描速度的磁場系統(tǒng)。掃描線圈可以通過電磁鐵來調(diào)節(jié)磁場的強(qiáng)度和方向,從而控制電子束的掃描范圍和掃描速度。
檢測器:檢測器是用于探測樣品表面反射、散射和次級電子等信號的裝置,通常包括次級電子探測器、反射電子探測器和透射電子探測器等。不同的檢測器可以獲取不同類型的信號,從而對樣品進(jìn)行不同方式的分析。
顯示器和計(jì)算機(jī):掃描電鏡需要將采集到的信號進(jìn)行數(shù)字化處理,并將結(jié)果顯示在計(jì)算機(jī)上。計(jì)算機(jī)還可以對樣品進(jìn)行圖像處理和分析,從而提取出更多的信息。
以上是掃描電鏡的基本結(jié)構(gòu),不同型號的掃描電鏡可能會有一些差異。但總體而言,掃描電鏡的結(jié)構(gòu)都是由電子槍、樣品臺、掃描線圈、檢測器和計(jì)算機(jī)等幾個主要部分組成的。
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作者:澤攸科技