臺式掃描電鏡的分辨率可以定義為它所能夠分辨的可接受的特征尺寸。一般情況下，掃描電鏡的分辨率定義為可分辨尺寸的一半，通常用“線對距”（即可分辨線條的間距）或“點(diǎn)對距”（即可分辨點(diǎn)之間的距離）來表示。例如，若掃描電鏡的分辨率為1納米，則其可以分辨的特征尺寸為0.5納米，即可分辨線條間距或點(diǎn)對距為0.5納米。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

需要注意的是，掃描電鏡的實際分辨率不僅與電子光束的性質(zhì)和樣品的物理結(jié)構(gòu)相關(guān)，還受到多種因素的影響，例如電子透鏡的調(diào)整、掃描電子束的能量、像素尺寸等。因此，在進(jìn)行具體實驗前需要對樣品進(jìn)行多次調(diào)試和測試，以保證獲得高分辨率和成像效果。

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