在掃描電鏡（SEM）中，電子束與樣品之間存在多種相互作用。這些相互作用包括：

散射：當(dāng)電子束與樣品中的原子或分子相互作用時(shí)，會(huì)發(fā)生散射現(xiàn)象。這包括彈性散射（即高角度散射，用于成像）和非彈性散射（即低角度散射，通常用于能譜分析）。散射事件提供了有關(guān)樣品中原子排列、晶體結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的信息。

透射：在樣品較薄或具有透明性的區(qū)域，電子束可能會(huì)穿過(guò)樣品而不被散射。這種透射現(xiàn)象類(lèi)似于透射電子顯微鏡（TEM），它提供了關(guān)于樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和組成的信息。

吸收：樣品中的原子或分子可以吸收電子束的能量，導(dǎo)致電子束的衰減。這種吸收現(xiàn)象可以用于測(cè)量樣品的組成和密度。

輻射：電子束與樣品相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生輻射，如熒光輻射、逆康普頓散射和布拉格反射。這些輻射事件提供了有關(guān)樣品的能譜信息。

電荷交換：電子束與樣品中的原子或分子之間可能發(fā)生電荷交換，導(dǎo)致電子束和樣品之間的電荷轉(zhuǎn)移。這種電荷交換作用可以用于探測(cè)樣品的電荷狀態(tài)、化學(xué)反應(yīng)和表面電荷密度。

這些電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生的信號(hào)可以被SEM系統(tǒng)檢測(cè)和記錄，用于生成圖像和分析樣品的結(jié)構(gòu)、形貌、組成和性質(zhì)。不同的相互作用方式可以用于不同的SEM技術(shù)和應(yīng)用，如成像、能譜分析、電子背散射圖像等。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

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