掃描電鏡檢測(cè)器是用于掃描電子顯微鏡的一種重要部件。掃描電子顯微鏡是一種高分辨率的顯微鏡，通過(guò)照射樣本表面的電子束并檢測(cè)由樣本反射、散射和輻射而產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)獲取樣本的表面形貌和組成信息。

掃描電鏡檢測(cè)器的作用是接收并轉(zhuǎn)換掃描電子顯微鏡中樣本表面產(chǎn)生的信號(hào)，以生成顯微鏡圖像或其他相關(guān)數(shù)據(jù)。常見的掃描電鏡檢測(cè)器包括以下幾種：

二次電子檢測(cè)器：用于檢測(cè)樣本表面產(chǎn)生的二次電子。二次電子主要來(lái)自樣本表面的凸起、坑洞和邊緣等區(qū)域，能夠提供樣本表面的形貌信息。這種檢測(cè)器通常用于生成高分辨率的顯微鏡圖像。

回散射電子檢測(cè)器：用于檢測(cè)由樣本表面反射的回散射電子?；厣⑸潆娮拥哪芰亢头较蚴軜颖境煞趾兔芏鹊挠绊?，因此可以提供關(guān)于樣本的元素組成和晶體結(jié)構(gòu)信息。

X射線能譜儀：用于檢測(cè)由樣本表面發(fā)射的特定能量的X射線。通過(guò)分析X射線的能譜，可以確定樣本中存在的元素種類和相對(duì)含量，提供化學(xué)成分分析的信息。

掃描探針顯微鏡：這是一類不同于傳統(tǒng)掃描電鏡的顯微鏡技術(shù)，它使用掃描探針來(lái)測(cè)量樣本表面的性質(zhì)，如原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡。這些檢測(cè)器可以提供原子級(jí)別的表面形貌和電子性質(zhì)信息。    

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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