掃描電鏡的探針電子束直徑和聚焦方式如何控制?
日期:2023-07-06
在掃描電鏡(SEM)中,探針電子束的直徑和聚焦方式是由幾個(gè)參數(shù)和控制方式?jīng)Q定的。以下是一些常見的方法和控制參數(shù),用于控制探針電子束的直徑和聚焦方式:
凝聚鏡和電子槍:SEM中的凝聚鏡和電子槍對(duì)探針電子束的聚焦起著關(guān)鍵作用。通過調(diào)整凝聚鏡和電子槍的參數(shù),如焦距、亮度和放大倍數(shù),可以控制電子束的直徑和聚焦效果。
操作軟件和控制面板:SEM系統(tǒng)通常配備了專門的操作軟件和控制面板,可用于控制電子束的直徑和聚焦。操作者可以通過調(diào)整相關(guān)的參數(shù)和設(shè)置來改變電子束的聚焦方式。
工作距離調(diào)節(jié)器:在前面的問題中已經(jīng)提到,工作距離調(diào)節(jié)器可以調(diào)整探針電子束與樣品之間的距離。通過調(diào)整工作距離,可以影響電子束的直徑和聚焦效果。
對(duì)焦功能:SEM通常具有對(duì)焦功能,允許調(diào)整電子束的聚焦平面。通過對(duì)焦功能,可以改變電子束的直徑和聚焦效果,以獲得清晰的圖像。
場發(fā)射電子量(FESEM):在場發(fā)射掃描電鏡中,探針電子束的直徑和聚焦方式可以通過調(diào)整場發(fā)射電子量來控制。增加場發(fā)射電子量可以改變電子束的直徑和聚焦效果。
需要注意的是,不同的SEM系統(tǒng)可能具有不同的參數(shù)和控制方式來調(diào)節(jié)探針電子束的直徑和聚焦方式。操作者應(yīng)該參考SEM設(shè)備的用戶手冊(cè)和操作指南,了解具體的參數(shù)和控制方式,并按照制造商的指導(dǎo)進(jìn)行操作和調(diào)整。
在調(diào)整探針電子束的直徑和聚焦方式時(shí),操作者需要小心操作,并注意到這些調(diào)整會(huì)影響到成像的清晰度和信號(hào)強(qiáng)度。適當(dāng)?shù)恼{(diào)整有助于獲得高質(zhì)量的圖像和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
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作者:澤攸科技