掃描電鏡有哪些主要參數(shù)?
日期:2023-07-11
掃描電子顯微鏡(是一種常用的高分辨率顯微鏡,通過掃描樣品表面并檢測從樣品表面反射的電子束來獲得圖像。以下是SEM的一些主要參數(shù):
加速電壓:加速電壓是指施加在電子束上的電場力,以加速電子束的能量。它通常以千伏(kV)為單位。較高的加速電壓可以提供更高的穿透力和更大的樣品深度。
分辨率:SEM的分辨率是指其能夠區(qū)分兩個相鄰物體或特征的能力。它取決于電子束的聚焦能力和檢測系統(tǒng)的性能。SEM通常具有較高的分辨率,可以觀察到亞微米尺度的細節(jié)。
透射電子檢測器:SEM使用透射電子檢測器來檢測從樣品表面散射的次級電子。次級電子的檢測可以提供有關(guān)樣品表面拓撲和形貌的信息。
背散射電子檢測器:SEM中的背散射電子檢測器用于檢測從樣品表面背向散射的高能電子。背散射電子的檢測可以提供關(guān)于樣品的組成和原子序數(shù)的信息。
樣品舞臺:樣品舞臺是放置樣品的平臺,可以控制樣品的位置、旋轉(zhuǎn)和傾斜。它允許在不同角度和方向下觀察樣品,并進行局部分析。
真空系統(tǒng):SEM中需要維持高真空環(huán)境,以避免電子束與氣體分子相互作用并減少散射。真空系統(tǒng)包括真空室、泵和氣體排放系統(tǒng)。
這些是SEM的一些主要參數(shù),不同型號的SEM可能具有其他參數(shù)和功能,以適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡有哪些主要參數(shù)。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。
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作者:澤攸科技
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