臺式掃描電鏡的樣品處理流程和注意事項是什么
日期:2023-08-10
臺式掃描電鏡(SEM)是一種強大的顯微鏡,可以用于高分辨率的表面成像和分析。以下是臺式掃描電鏡樣品處理的一般流程和注意事項:
樣品處理流程:
準備樣品: 根據(jù)實驗目的,選擇合適的樣品,并確保它們干凈、整潔。非導電樣品需要進行適當?shù)那疤幚?,以減輕充電效應。
固定樣品: 使用導電膠、樣品夾或其他方法將樣品固定在SEM樣品臺上,確保樣品穩(wěn)定且與臺面良好接觸。
導電涂層(如果需要): 對于非導電樣品,可以涂覆一層導電涂層,如金屬或碳,以減輕充電效應。
真空脫氣: 如果需要,將樣品放置在真空脫氣室中,以減少樣品表面的氣體分子,減輕充電問題。
調整樣品位置: 使用樣品臺移動功能將樣品位置調整到所需的位置,以便于觀察和分析。
調整焦距和對焦: 使用顯微鏡或SEM軟件來調整焦距,確保樣品處于清晰的成像狀態(tài)。
選擇成像參數(shù): 根據(jù)實驗目的,選擇合適的電子束加速電壓、探針電流、掃描速度等成像參數(shù)。
成像: 開始成像過程,獲取所需區(qū)域的圖像??梢允褂貌煌某上衲J剑缍坞娮映上窈头瓷潆娮映上?。
數(shù)據(jù)獲?。?根據(jù)需要,獲取表面形貌、元素分布等數(shù)據(jù)。
注意事項:
樣品清潔: 樣品表面的雜質、塵?;蛭蹪n會影響成像質量,因此確保樣品表面干凈。
充電效應: 對于非導電樣品,要注意充電效應。可以使用導電涂層、低電子束能量等方法減輕充電效應。
樣品尺寸: 樣品尺寸應適合SEM樣品臺,并在臺面上穩(wěn)定固定。
避免損壞: 在操作過程中避免樣品與SEM部件的直接接觸,以防止損壞。
低真空模式: 對于一些樣品,使用低真空模式可以減少氣體分子的影響,有助于克服充電問題。
避免過度曝曬: 高電子束能量和持續(xù)曝曬可能會對樣品造成傷害,因此要避免過度曝曬。
記錄參數(shù): 記錄用于成像的參數(shù),以便能夠重復實驗或分析。
樣品安全: 有些樣品可能具有毒性、放射性或其他安全風險,需要按照安全規(guī)定進行處理。
電鏡維護: 在使用后,及時關閉SEM,進行必要的清潔和維護,以保持設備的正常運行。
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作者:澤攸科技