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掃描電鏡的工作距離對圖像的影響

日期:2023-08-14

掃描電子顯微鏡(SEM)的工作距離是指樣本表面到電子透鏡(或稱為物鏡)的距離。工作距離的大小會直接影響SEM圖像的成像效果和分辨率。以下是工作距離對圖像的影響:

分辨率: 工作距離影響SEM圖像的分辨率。較小的工作距離通??梢垣@得更高的分辨率,即更能夠分辨出樣本表面的微小細節(jié)。這是因為在較小的工作距離下,電子束散射和散焦效應較小,使得圖像中的細節(jié)更加清晰。

深度焦點: 工作距離的變化還會影響圖像的深度焦點。較大的工作距離可以獲得較大的深度焦點范圍,使得樣本表面不同位置的區(qū)域都能保持清晰。這對于觀察具有不同高度的表面特征或凹凸結(jié)構(gòu)的樣本非常有用。

對比度: 工作距離也會影響圖像的對比度。較小的工作距離可以提供更高的對比度,因為電子束聚焦更強,散射較少,從而產(chǎn)生更清晰、對比度更高的圖像。

鏡頭畸變: 在一些情況下,較大的工作距離可能會引起透鏡畸變,影響圖像的準確性。這取決于SEM的設計和儀器的校準情況。

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作者:澤攸科技


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