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掃描電鏡圖像中的深度信息如何獲得?

日期:2023-08-21

傳統(tǒng)的掃描電鏡是一種使用電子束而不是光束的顯微鏡,因此無法直接獲取樣品的真實深度信息。SEM主要提供表面形貌的二維圖像,不同深度的特征通常會在圖像上疊加顯示。

然而,有一些技術(shù)和方法可以在SEM圖像中獲取一些關(guān)于深度信息的提示:

傾斜拍攝:通過在不同的角度進(jìn)行樣品拍攝,可以獲得來自不同方向的信息。這些圖像可以用于生成三維效果的圖像,雖然不能提供深度信息,但可以給觀察者一種立體感。

多焦點圖像:通過在不同焦平面上進(jìn)行多次掃描,可以獲取不同深度上的圖像。將這些圖像疊加或處理,可以獲得一些關(guān)于表面之上的深度信息。

表面形貌變化:通過觀察SEM圖像中的陰影、明暗變化和紋理等特征,可以對樣品的表面形貌變化和深度差異有一定的了解。然而,這種方法并不準(zhǔn)確,只能提供一些感性的深度信息。

SEM與其它技術(shù)的結(jié)合:將SEM與其它技術(shù),如離子束切割、原子力顯微鏡(AFM)等相結(jié)合,可以獲得更多的深度信息。例如,通過離子束切割可以在樣品上制作橫截面,然后用SEM觀察這些橫截面,從而獲得一定的深度信息。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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作者:澤攸科技


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