在掃描電鏡（SEM）中，像散校正是一種重要的校正步驟，用于糾正由于電子透鏡的離軸像散效應而導致的圖像畸變。像散校正有助于提高SEM圖像的質量和解析度。以下是一般性的步驟和方法，說明SEM中的像散校正如何進行：

選擇合適的樣品： 為了進行像散校正，你需要選擇一個具有明顯特征的樣品，可以是一些具有明顯邊緣和結構的微小顆?；蛱卣?。

獲取像散校正圖像： 將樣品放在SEM樣品臺上，選擇一個適當?shù)姆糯蟊稊?shù)和成像參數(shù)，然后獲取一個清晰的圖像，包括一些明顯的邊緣和特征。

選擇像散校正區(qū)域： 在圖像中選擇一個具有明顯特征的區(qū)域，這將成為你進行像散校正的區(qū)域。

應用像散校正： SEM通常配備了像散校正功能，可以通過校正軟件或圖像處理工具來實現(xiàn)。你需要輸入校正區(qū)域的位置，并進行校正操作。

調整參數(shù)： 在校正過程中，通常需要調整一些參數(shù)，如校正強度、校正方向等，以獲得高質量的校正效果。

確認校正效果： 校正完成后，獲取另一個圖像，以驗證是否成功校正了像散畸變。新圖像應該顯示更少的畸變和扭曲。

重復校正： 如果需要，你可以多次嘗試進行像散校正，調整參數(shù)和校正區(qū)域，直到獲得高質量的校正效果。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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