如何選擇適合的探針和檢測器以進行掃描電鏡分析?
日期:2023-10-10
在選擇適合的探針和檢測器進行掃描電鏡(SEM)分析時,需要考慮要研究的樣品性質(zhì)、所需分辨率、表面拓撲特征和所需信號類型。以下是一些常見的探針和檢測器以及它們的應(yīng)用:
二次電子顯微鏡(SEMs):
二次電子探針(SE):用于獲得樣品表面的形貌信息,對樣品表面的拓撲特征非常敏感。適用于大多數(shù)樣品。
反射電子顯微鏡(BSE):用于獲得樣品的原子數(shù)或密度信息,對高原子序數(shù)元素敏感。適用于成分分析。
能量色散X射線光譜分析(EDS):
X射線能譜探測器:用于定量分析樣品的元素成分。適用于確定樣品的化學成分和元素分布。
掃描穿透電子顯微鏡(STEM):
透射電子探針(TEM):用于觀察樣品內(nèi)部的細節(jié),可實現(xiàn)高分辨率的原子級成像和分析。
反射光電子顯微鏡(REM):
反射電子顯微鏡:用于獲得原子層面的表面形貌信息,對晶體結(jié)構(gòu)和異質(zhì)界面的研究非常有用。
探針柵顯微鏡(AFM):
原子力顯微鏡:用于研究樣品的表面拓撲、力和磁性等性質(zhì)。適用于非導電樣品。
在選擇探針和檢測器時,還需要考慮以下因素:
分辨率:選擇與所需分辨率匹配的設(shè)備。
樣品性質(zhì):考慮樣品的導電性、形狀和尺寸。
分析目的:明確您的分析目標,是觀察樣品的表面形貌、元素分布還是內(nèi)部結(jié)構(gòu)。
成本:不同類型的探針和檢測器有不同的價格,需要根據(jù)預(yù)算做出選擇。
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作者:澤攸科技