在掃描電鏡中，電子束與樣品之間的距離是一個重要的參數(shù)，通常稱為工作距離或工作距離。這個距離對SEM成像的質(zhì)量和性能有顯著的影響，以下是一些影響：

成像分辨率： 工作距離會影響SEM的成像分辨率。通常情況下，較小的工作距離可以提供更高的分辨率，因為電子束更聚焦。如果工作距離過大，分辨率可能會下降。

深度和對焦范圍： 工作距離也會影響對焦范圍，即樣品上下表面的焦平面深度。較大的工作距離通常意味著更深的對焦范圍，使您能夠觀察不同深度的樣品部分。

信號強(qiáng)度： 較小的工作距離可以提供更高的二次電子和反射電子信號強(qiáng)度。這對于獲得清晰的圖像和更好的樣品導(dǎo)電性很重要。

樣品表面和幾何： 樣品的表面形狀和幾何特性也會影響工作距離的選擇。復(fù)雜的樣品可能需要不同的工作距離以獲得更全的信息。

放大倍數(shù)： 工作距離通常會隨著放大倍數(shù)的增加而變化。較高放大倍數(shù)通常需要較小的工作距離。

在SEM操作中，操作員通常需要選擇適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x以滿足特定應(yīng)用的需求。這通常需要一些實驗和調(diào)整，以獲得高質(zhì)量的成像結(jié)果。如果工作距離選擇不當(dāng)，可能會導(dǎo)致分辨率下降、對焦困難或信號強(qiáng)度不足。因此，操作員需要在使用SEM時具備一定的經(jīng)驗和技能。

ZEM20臺式掃描電鏡

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