掃描電鏡樣本的尺寸和形狀對參數(shù)設(shè)置的影響
日期:2023-11-01
掃描電鏡(SEM)中的樣本尺寸和形狀對參數(shù)設(shè)置和成像的影響是很重要的。不同大小和形狀的樣本可能需要不同的參數(shù)設(shè)置,以獲得高質(zhì)量的成像結(jié)果。以下是樣本尺寸和形狀對SEM參數(shù)設(shè)置的一些一般影響:
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小樣本:小樣本可能需要更高的放大倍數(shù)和更高的電子束電流,以獲得足夠的分辨率和信噪比。電子束的聚焦和定位可能需要更高的精度。
大樣本:大樣本可能需要較低的放大倍數(shù)和較低的電子束電流,以避免過度曝光和樣品燒傷。此外,大樣本可能需要更寬的深度和焦平面范圍。
樣本形狀:
凹凸不平的樣本:對于不平坦的樣本表面,需要更仔細的對焦和平面調(diào)整,以確保整個樣本表面都在焦點范圍內(nèi)。
復(fù)雜形狀的樣本:對于具有復(fù)雜形狀的樣本,可能需要多次成像,以獲取更全的信息。此外,可能需要不同的角度來觀察樣本的各個部分。
樣本導(dǎo)電性:
導(dǎo)電性差的樣本:對于導(dǎo)電性差的樣本,可能需要更高的電子束電流和更長的掃描時間,以獲得足夠的信號。
導(dǎo)電性好的樣本:導(dǎo)電性好的樣本可以在較低的電子束電流下獲得清晰的成像,這有助于減少電子束對樣本的損傷。
樣本厚度:
厚樣本:對于較厚的樣本,可能需要更高的電子束電流,以克服樣本內(nèi)部的散射。此外,可能需要進行透射電子顯微鏡(TEM)切片制備,以觀察樣本內(nèi)部的微觀結(jié)構(gòu)。
薄樣本:薄樣本通常對電子束非常敏感,可能需要較低的電子束電流和較短的掃描時間。
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作者:澤攸科技