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如何避免掃描電鏡樣品表面的“熱偽影”現象

日期:2023-11-07

掃描電鏡樣品表面的 "熱偽影" 現象通常是由于電子束的高能量導致的。這種現象可能會導致樣品局部升溫,影響成像和分析結果。以下是一些避免或減輕熱偽影的方法:

低電子束能量:降低電子束的能量,特別是在高分辨率成像之前。降低電子束能量可以減少熱偽影的潛在影響。

低電子束流密度:減小電子束的流密度,即每單位面積的電子束束流。這可以通過調整電子束的亮度或束團大小來實現。

快速掃描模式:使用快速掃描模式可以減少電子束停留在樣品表面的時間,從而減小熱偽影的可能性。

預冷樣品:在進行高倍率掃描之前,可以將樣品冷卻到低溫,以減少樣品加熱。

使用低溫樣品臺:一些掃描電鏡配備了低溫樣品臺,可以在成像時保持樣品低溫,從而減輕熱偽影。

樣品制備:在進行掃描電鏡成像前,確保樣品的制備質量,避免過大的不均勻區(qū)域或凹陷,以減少電子束的局部能量損耗。

實驗參數優(yōu)化:根據特定的樣品和實驗需求,優(yōu)化掃描電鏡的參數,以找到高質量的成像條件。

熱偽影是一個需要仔細處理的問題,因為它可能會導致圖像質量下降和分析誤差。通過合理選擇實驗參數和采取適當的預防措施,可以減小熱偽影的影響。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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