掃描電鏡（SEM）通常是通過(guò)測(cè)量電子束與樣品表面交互的信號(hào)來(lái)獲取圖像。掃描電鏡圖像主要基于二次電子發(fā)射（SE）和反射電子（BSE）的檢測(cè)。這兩種信號(hào)提供了關(guān)于樣品表面形貌、拓?fù)浜突瘜W(xué)成分的信息。

二次電子發(fā)射（SE）： 當(dāng)高能電子束照射到樣品表面時(shí)，激發(fā)并釋放出二次電子。二次電子的發(fā)射數(shù)量與樣品表面的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)有關(guān)，因此通過(guò)檢測(cè)二次電子的發(fā)射，可以獲取關(guān)于樣品表面形貌和拓?fù)涞男畔?。這種信號(hào)主要用于獲取表面的形貌信息。

反射電子（BSE）： 反射電子是由樣品中的原子核反射的電子。這些電子的能量與樣品的原子序數(shù)有關(guān)，因此BSE圖像提供了關(guān)于樣品的化學(xué)成分和原子序數(shù)的信息。BSE圖像通常用于觀察材料的化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)。

深度信息的獲取通常依賴(lài)于掃描電鏡的工作模式。在一般的表面拓?fù)鋱D像中，主要使用二次電子圖像。要獲取深度信息，可以采用以下方法之一：

焦平面深度信息： 通過(guò)調(diào)整掃描電鏡的焦平面，可以在一定程度上獲取樣品表面的深度信息。對(duì)焦平面的調(diào)整會(huì)影響二次電子的信號(hào)強(qiáng)度，從而提供一些深度信息。

掃描電子顯微鏡的傾斜視角： 通過(guò)傾斜樣品或調(diào)整電子束的入射角度，可以獲得不同角度下的圖像，從而獲取深度信息。這種方法有助于構(gòu)建三維表面拓?fù)湫畔ⅰ?/span>

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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