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掃描電鏡中的電子背散射成像原理解析

日期:2023-11-24

掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子背散射(BSE)成像是一種獲取樣品表面組成信息的技術(shù)。以下是電子背散射成像的基本原理解析:

電子源產(chǎn)生: 掃描電子顯微鏡使用電子束作為探針。這個(gè)電子束由電子槍產(chǎn)生,經(jīng)過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)后照射到樣品表面。

與物質(zhì)相互作用: 電子束與樣品中的原子發(fā)生相互作用。在這個(gè)過程中,電子可以被樣品原子中的外層電子散射,其中一部分電子被散射到背面。

背散射電子產(chǎn)生: 樣品中的高原子序數(shù)元素會(huì)引起更多的電子背散射。這些背散射電子具有高能量和高角度,與樣品的元素成分相關(guān)。

探測器捕獲: 安裝在掃描電鏡中的探測器用于捕獲背散射電子。探測器測量電子的能量和角度,并將這些信息轉(zhuǎn)化為圖像。

成像和分析: 得到的圖像顯示了樣品表面的組成信息。高原子序數(shù)的區(qū)域通常顯示為明亮的區(qū)域,而低原子序數(shù)的區(qū)域則較暗。這使得觀察樣品的元素分布和化學(xué)組成成為可能。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子背散射成像原理解析。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號(hào))。

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作者:澤攸科技


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