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掃描電鏡中的電子背散射成像原理解析

日期:2023-11-24

掃描電子顯微鏡(SEM)中的電子背散射(BSE)成像是一種獲取樣品表面組成信息的技術(shù)。以下是電子背散射成像的基本原理解析:

電子源產(chǎn)生: 掃描電子顯微鏡使用電子束作為探針。這個(gè)電子束由電子槍產(chǎn)生,經(jīng)過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)后照射到樣品表面。

與物質(zhì)相互作用: 電子束與樣品中的原子發(fā)生相互作用。在這個(gè)過程中,電子可以被樣品原子中的外層電子散射,其中一部分電子被散射到背面。

背散射電子產(chǎn)生: 樣品中的高原子序數(shù)元素會(huì)引起更多的電子背散射。這些背散射電子具有高能量和高角度,與樣品的元素成分相關(guān)。

探測器捕獲: 安裝在掃描電鏡中的探測器用于捕獲背散射電子。探測器測量電子的能量和角度,并將這些信息轉(zhuǎn)化為圖像。

成像和分析: 得到的圖像顯示了樣品表面的組成信息。高原子序數(shù)的區(qū)域通常顯示為明亮的區(qū)域,而低原子序數(shù)的區(qū)域則較暗。這使得觀察樣品的元素分布和化學(xué)組成成為可能。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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