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臺(tái)式掃描電鏡電子束熱漂移的影響和補(bǔ)償方法

日期:2023-11-30

在臺(tái)式掃描電鏡中,電子束的熱漂移是一個(gè)常見(jiàn)的問(wèn)題,它可能會(huì)影響圖像的分辨率和對(duì)樣品的準(zhǔn)確定位。熱漂移通常是由于電子束的熱效應(yīng)導(dǎo)致的。

影響:

圖像模糊: 熱漂移可能導(dǎo)致圖像在掃描過(guò)程中發(fā)生模糊,特別是在對(duì)準(zhǔn)和對(duì)焦要求高的情況下。

分辨率降低: 由于電子束位置的不穩(wěn)定性,分辨率可能受到影響,尤其是在高放大倍數(shù)下。

定位誤差: 熱漂移可能導(dǎo)致樣品的定位誤差,使得在長(zhǎng)時(shí)間掃描中難以準(zhǔn)確地保持對(duì)樣品的焦點(diǎn)。

補(bǔ)償方法:

溫度穩(wěn)定性: 保持掃描電鏡的環(huán)境溫度相對(duì)穩(wěn)定是減少熱漂移的有效方法。通過(guò)使用溫度穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境或安裝溫度控制系統(tǒng),可以減緩熱漂移的發(fā)生。

熱漂移校正: 一些掃描電鏡系統(tǒng)具有熱漂移校正功能,能夠通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)電子束位置的變化并進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從而減小熱漂移的影響。

使用低電流: 降低電子束的電流可以減小電子束對(duì)樣品的熱效應(yīng),從而減緩熱漂移的產(chǎn)生。

快速掃描: 在需要保持樣品焦點(diǎn)的情況下,通過(guò)使用快速掃描模式,可以減少掃描時(shí)間,降低熱漂移的影響。

金屬樣品支架: 采用具有良好導(dǎo)熱性的金屬樣品支架有助于更好地分散電子束的熱量,減小熱漂移的可能性。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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