掃描電鏡的主要組成部分
日期:2023-12-04
掃描電鏡是一種使用電子束來(lái)高分辨率地成像樣品表面的儀器。其主要組成部分包括:
電子槍: 電子槍是掃描電鏡的核心部分,負(fù)責(zé)發(fā)射電子束。這個(gè)電子束通常由熱陰極發(fā)射電子,并通過(guò)電場(chǎng)聚焦形成細(xì)束。
樣品室: 樣品室是放置待觀察樣品的區(qū)域。樣品通常需要被制備成導(dǎo)電的狀態(tài),以便電子束的引導(dǎo)和探測(cè)。
電子透鏡系統(tǒng): 電子透鏡系統(tǒng)由一系列電磁透鏡組成,用于調(diào)整和聚焦電子束,以確保其能夠準(zhǔn)確地掃描樣品表面。
掃描線圈: 掃描線圈用于控制電子束在樣品表面的移動(dòng)。通過(guò)調(diào)整掃描線圈的電流,可以實(shí)現(xiàn)掃描電子束在樣品表面的不同區(qū)域,從而獲取整個(gè)圖像。
二次電子探測(cè)器: 二次電子探測(cè)器用于檢測(cè)樣品表面被電子束擊中后產(chǎn)生的二次電子。這些二次電子攜帶有關(guān)樣品表面的信息,用于生成圖像。
信號(hào)放大器和處理器: 二次電子信號(hào)被放大和處理,以產(chǎn)生圖像。這通常涉及到信號(hào)的轉(zhuǎn)換、放大和數(shù)字化。
顯示器和計(jì)算機(jī): 掃描電鏡通過(guò)顯示器和計(jì)算機(jī)來(lái)顯示和處理圖像。這些設(shè)備使操作人員能夠?qū)崟r(shí)觀察樣品表面的細(xì)節(jié),并進(jìn)行圖像分析。
這些組成部分共同作用,使得掃描電鏡能夠以高分辨率、高對(duì)比度地獲取樣品表面的圖像,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究和分析。
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作者:澤攸科技