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掃描電鏡如何避免樣品表面充電效應(yīng)

日期:2024-01-18

掃描電鏡中的樣品表面充電效應(yīng)是一個(gè)常見(jiàn)問(wèn)題,但可以通過(guò)以下方法來(lái)減輕或避免:

導(dǎo)電涂層: 在樣品表面涂覆一層薄而均勻的導(dǎo)電涂層,如金屬(例如金、鉑)或碳。這有助于提供一個(gè)導(dǎo)電路徑,減輕表面充電效應(yīng)。

樣品炭層: 對(duì)于非導(dǎo)電樣品,可以使用碳薄層來(lái)涂覆樣品表面。這有助于提高樣品的導(dǎo)電性,從而減輕充電效應(yīng)。

金屬導(dǎo)電涂層: 對(duì)于特定的樣品,可以考慮在樣品表面蒸鍍一層薄的金屬導(dǎo)電膜。這可以改善電子導(dǎo)電性,減少表面充電。

低電子能量: 使用較低的電子能量進(jìn)行掃描。較低的電子能量可以減少電子束與樣品相互作用,從而減輕表面充電效應(yīng)。

真空環(huán)境: 在掃描電鏡操作期間維持適當(dāng)?shù)恼婵窄h(huán)境,以減少氣體分子對(duì)電子束和樣品的影響,有助于減輕表面充電效應(yīng)。

中性氣體輔助: 有些掃描電鏡設(shè)備具有中性氣體輔助功能,通過(guò)注入中性氣體(如氮?dú)猓﹣?lái)中和表面充電效應(yīng)。

低電子通量: 使用較低的電子通量,即每單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)樣品的電子數(shù)量。這有助于減輕充電效應(yīng)。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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