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掃描電鏡成像如何避免樣品表面的充電效應(yīng)?

日期:2024-01-29

在掃描電子顯微鏡(SEM)成像過(guò)程中,樣品表面的充電效應(yīng)可能會(huì)影響圖像質(zhì)量。充電效應(yīng)主要是由于電子束與樣品表面相互作用,導(dǎo)致電荷的累積。以下是一些方法,可幫助減輕或避免樣品表面的充電效應(yīng):

導(dǎo)電涂層: 在進(jìn)行掃描電鏡成像前,可以在樣品表面涂覆一層導(dǎo)電性較好的薄層,如金屬或碳。這有助于提高電子的導(dǎo)電性,減少表面充電效應(yīng)。

樣品預(yù)處理: 在樣品進(jìn)行掃描電鏡成像前,進(jìn)行一些樣品的預(yù)處理步驟,例如金屬涂層、碳涂層或?qū)щ娡繉?,以減輕充電效應(yīng)。

低電壓成像: 降低掃描電鏡的電子束加速電壓,可以減小電子束與樣品相互作用的強(qiáng)度,減輕充電效應(yīng)。但需要注意,較低的電壓可能降低圖像分辨率。

工作距離調(diào)整: 調(diào)整掃描電鏡的工作距離,即樣品到電子透鏡的距離,可以影響電子束的能量分布。通過(guò)適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x調(diào)整,可以減輕充電效應(yīng)。

電荷補(bǔ)償系統(tǒng): 一些掃描電鏡設(shè)備配備了電荷補(bǔ)償系統(tǒng),可以通過(guò)引入相反方向的電子流或離子束來(lái)抵消樣品表面的電荷,從而減輕充電效應(yīng)。

瞬時(shí)圖像: 通過(guò)在較短時(shí)間內(nèi)獲取圖像,可以減小電子束對(duì)樣品的影響,從而減輕充電效應(yīng)。

避免累積電荷: 盡可能減小電子束對(duì)樣品的曝光時(shí)間,以避免過(guò)長(zhǎng)的曝光時(shí)間導(dǎo)致電荷的累積。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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