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掃描電鏡中如何處理樣品的金屬涂層以增強(qiáng)導(dǎo)電性

日期:2024-01-31

在掃描電鏡(SEM)中,為了增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性,常常需要對(duì)樣品進(jìn)行金屬涂層。這主要是因?yàn)閽呙桦婄R對(duì)樣品的導(dǎo)電性要求較高,而一些非導(dǎo)電性或弱導(dǎo)電性的樣品表面容易產(chǎn)生電荷積累,影響圖像質(zhì)量。以下是處理樣品的金屬涂層的基本步驟:

樣品準(zhǔn)備: 準(zhǔn)備需要觀察的樣品,確保其表面光滑、干燥且無(wú)塵。

真空處理: 將樣品放入真空室中。在真空條件下進(jìn)行金屬涂層是為了確保金屬薄層均勻地沉積在樣品表面,減少空氣對(duì)涂層的干擾。

樣品預(yù)處理: 在涂層之前,一些樣品可能需要進(jìn)行預(yù)處理,如清洗和去除表面油污。這有助于確保金屬薄層能夠附著在樣品表面。

金屬噴鍍: 使用金屬噴鍍儀器,在真空條件下將導(dǎo)電性較好的金屬(通常是金、鉑、銀、銅等)薄層均勻地噴鍍?cè)跇悠繁砻嫔稀_@個(gè)過(guò)程中,金屬原子會(huì)沉積在樣品表面,形成一個(gè)導(dǎo)電性薄層。

金屬沉積時(shí)間: 控制金屬沉積的時(shí)間以確保形成足夠的導(dǎo)電性層。時(shí)間過(guò)長(zhǎng)可能導(dǎo)致金屬層過(guò)厚,影響SEM觀察。

取出樣品: 在金屬沉積完成后,將樣品從真空室中取出。此時(shí)樣品表面已經(jīng)形成一層金屬薄層,提高了導(dǎo)電性。

請(qǐng)注意,金屬涂層的厚度應(yīng)該足夠以提高樣品的導(dǎo)電性,但也要避免過(guò)度厚度,以免影響樣品表面的形貌和結(jié)構(gòu)觀察。整個(gè)金屬涂層過(guò)程需要在合適的設(shè)備和條件下進(jìn)行,確保SEM觀察的準(zhǔn)確性和可靠性。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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