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掃描電鏡中的電子束對樣品有沒有損傷

日期:2024-02-02

掃描電子鏡(SEM)中使用的電子束對樣品會造成一定的影響,但是否產(chǎn)生明顯損傷取決于多個因素,包括電子束的能量、強度、樣品的性質(zhì)和構造,以及實驗條件等。以下是一些相關因素:

電子束能量: 高能的電子束通常會對樣品造成更大的影響,可能導致電離、輻射損傷以及表面和體積效應。低能量的電子束通常更適合對生物樣品等敏感樣品進行觀察,以減小損傷的可能性。

電子束強度: 高強度的電子束可能導致樣品表面的電荷積累,可能會影響圖像質(zhì)量。調(diào)整電子束強度是控制對樣品的潛在影響的一種方式。

樣品的性質(zhì): 不同類型的樣品對電子束的響應不同。金屬樣品通常相對不容易受損,而有機或生物樣品可能更為敏感。樣品的導電性也會影響電荷積累的程度。

掃描模式: 在不同的掃描模式下,電子束與樣品的相互作用方式不同。在常規(guī)掃描模式下,電子束以連續(xù)模式移動,而在點掃描模式下,電子束以離散點的形式照射。點掃描模式通常對樣品造成的影響相對較小。

實驗條件: 控制SEM的實驗條件,如工作距離、電子束的焦點、溫度等,也可以影響樣品的損傷程度。

為減小電子束對樣品的潛在影響,可以采取一些措施:

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采用低溫條件進行觀察,以減小樣品的熱損傷。

在可能的情況下,對樣品進行金屬涂層以提高導電性。

在觀察生物樣品時,可以考慮使用低劑量和低溫的條件。

ZEM20臺式掃描電鏡

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作者:澤攸科技


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