掃描電鏡的成像過程是怎樣的
日期:2024-03-28
掃描電子顯微鏡(SEM)的成像過程是通過使用電子束來觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)。以下是一般的掃描電子顯微鏡成像過程:
準備樣品:首先,需要準備樣品以便在掃描電子顯微鏡中觀察。樣品通常需要被制備成薄片,并且需要被涂覆上導電性材料(如金屬薄膜或者碳薄膜)以避免電荷積聚和影響成像。
裝載樣品:將樣品放置在樣品臺上,并確保它被牢固地固定在位置上。一些掃描電子顯微鏡還可以通過旋轉(zhuǎn)、傾斜等方式調(diào)整樣品的位置和角度。
真空抽氣:為了確保電子束能夠穩(wěn)定地通過樣品并產(chǎn)生清晰的圖像,掃描電子顯微鏡通常在成像過程中需要維持在高真空或者低真空狀態(tài)。在開始成像之前,通常需要對顯微鏡進行真空抽氣處理。
對焦和對準:調(diào)整電子槍的焦點和樣品的位置,使電子束能夠準確地聚焦在樣品表面。這通常需要對樣品臺進行微小的移動和旋轉(zhuǎn),以便獲得高質(zhì)量的對焦和對準效果。
調(diào)整成像參數(shù):根據(jù)需要調(diào)整加速電壓、工作距離、電子束當前、探針尺寸等成像參數(shù),以獲得所需的成像效果。
開始成像:當樣品準備就緒并且成像參數(shù)調(diào)整完畢后,可以開始成像過程。電子束沿著樣品表面掃描,激發(fā)樣品表面的電子信號。這些信號被探測器捕獲并轉(zhuǎn)換成圖像。
獲取圖像:捕獲電子信號并將其轉(zhuǎn)換成圖像。圖像可以在計算機屏幕上顯示,用戶可以實時觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu),并進行必要的調(diào)整以獲得所需的成像效果。
分析和處理:獲得圖像后,可以對圖像進行進一步的分析和處理,例如調(diào)整對比度和亮度、測量尺寸和形狀、執(zhí)行三維重建等。
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作者:澤攸科技