掃描電鏡的操作流程是怎樣的
日期:2024-04-01
掃描電子顯微鏡(SEM)的操作流程通常包括以下步驟:
準(zhǔn)備樣品:
樣品制備:將待觀察的樣品制備成適當(dāng)?shù)男螤詈痛笮?,并確保其表面光滑、干凈。
導(dǎo)電處理:對非導(dǎo)電性樣品進(jìn)行導(dǎo)電處理,以避免電荷積聚影響成像質(zhì)量。
安裝樣品:
安裝樣品支架:將樣品放置在樣品支架上,并使用導(dǎo)電膠或夾具將其固定在位置上。
調(diào)整樣品位置:調(diào)整樣品位置和角度,使其處于高質(zhì)量成像位置,并確保與電子束的路徑正交。
真空抽氣:
打開真空系統(tǒng):啟動掃描電鏡,并打開真空系統(tǒng),開始真空抽氣。
穩(wěn)定真空度:等待真空度穩(wěn)定達(dá)到工作要求,通常在高真空狀態(tài)下工作。
調(diào)節(jié)參數(shù):
設(shè)置加速電壓:根據(jù)樣品性質(zhì)和所需分辨率,設(shè)置合適的加速電壓。
調(diào)節(jié)工作距離:調(diào)節(jié)電子槍和樣品之間的工作距離,以保持適當(dāng)?shù)某上駰l件。
選擇探針尺寸:根據(jù)需要選擇合適的探針尺寸,以平衡分辨率和信號強(qiáng)度。
對焦和對準(zhǔn):
對焦樣品:使用透射電鏡或圖像對焦功能,調(diào)整電子束的焦點(diǎn),使其聚焦在樣品表面。
對準(zhǔn)樣品:通過微調(diào)樣品位置和角度,確保電子束垂直撞擊樣品表面。
開始成像:
啟動成像程序:選擇成像模式和參數(shù),并啟動成像程序,開始獲取圖像。
捕獲圖像:根據(jù)需要調(diào)整掃描速度和圖像質(zhì)量,捕獲樣品表面的圖像。
分析和保存:
圖像分析:對獲取的圖像進(jìn)行分析和處理,測量尺寸、形狀,分析表面形貌等。
結(jié)果保存:根據(jù)需要保存圖像和分析結(jié)果,并記錄相關(guān)參數(shù)和觀察條件。
關(guān)閉設(shè)備:
關(guān)閉成像程序:完成成像任務(wù)后,關(guān)閉成像程序并停止電子束。
關(guān)閉真空系統(tǒng):關(guān)閉真空系統(tǒng),并按照操作規(guī)程安全關(guān)閉設(shè)備。
以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡的操作流程。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢15756003283(微信同號)。
作者:澤攸科技