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掃描電鏡圖像大小受距離影響么

日期:2024-05-24

掃描電鏡(SEM)圖像的大小受到樣品與電子槍之間的距離(工作距離)的影響。這是由于SEM的工作原理決定的。

SEM中,電子束從電子槍中產(chǎn)生并聚焦到樣品表面,然后經(jīng)過探測器進(jìn)行信號采集。電子束的聚焦和成像是通過在樣品和電子槍之間的電場進(jìn)行調(diào)節(jié)來實現(xiàn)的。工作距離是指樣品表面到電子槍的距離,它直接影響了電子束的聚焦和成像。

當(dāng)工作距離發(fā)生變化時,電子束在樣品表面的聚焦效果也會發(fā)生變化,進(jìn)而影響到圖像的大小和清晰度。通常情況下,當(dāng)工作距離增加時,電子束會擴(kuò)散并失去焦距,導(dǎo)致圖像變得模糊并且可能會出現(xiàn)尺寸變化。相反,當(dāng)工作距離減小時,電子束會更好地聚焦在樣品表面上,圖像將更清晰并且尺寸可能會變小。

因此,在進(jìn)行SEM圖像采集時,需要盡量保持恒定的工作距離,以確保獲得一致和可比較的圖像。此外,還應(yīng)該在進(jìn)行圖像分析和測量時考慮到工作距離的影響,以確保獲得準(zhǔn)確的結(jié)果。

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作者:澤攸科技


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