在掃描電子顯微鏡（SEM）中，探針電流（也稱為束流電流或探針電流）是指電子束從電子槍發(fā)射到樣品表面上的電流強度。探針電流的大小直接影響成像的分辨率、信噪比和樣品的損傷程度。因此，選擇適當的探針電流對獲得高質量的圖像至關重要。

探針電流的影響因素

電子槍類型：

鎢燈絲（W）：探針電流較大，但分辨率較低，壽命較短。

六硼化鑭（LaB6）：比鎢燈絲有更高的亮度和壽命，分辨率較高。

場發(fā)射槍（FEG）：提供亮度和分辨率，但價格較高，操作和維護復雜。

加速電壓：

較高的加速電壓通常會增加探針電流，但可能會導致樣品損傷。

較低的加速電壓適合觀察表面結構，但探針電流較小，信噪比較低。

孔徑尺寸：

較大的孔徑允許更多的電子通過，增加探針電流，但會降低分辨率。

較小的孔徑提高分辨率，但減少探針電流。

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