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掃描電鏡如何處理樣品充電效應(yīng)

日期:2024-07-16

在使用掃描電子顯微鏡(SEM)時,樣品充電效應(yīng)是一個常見問題,特別是在觀察非導(dǎo)電材料時。充電效應(yīng)會導(dǎo)致圖像失真、對比度降低,甚至使觀察變得困難。以下是一些處理樣品充電效應(yīng)的常見方法:

1. 涂層處理

對樣品表面進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理,可以有效減少充電效應(yīng)。

材料:常用的涂層材料包括金、鉑、鈀、碳等。

方法:使用濺射儀或蒸鍍設(shè)備在樣品表面沉積一層薄的導(dǎo)電材料。通常,涂層厚度在幾納米到幾十納米之間。

2. 降低加速電壓

降低電子束的加速電壓可以減少充電效應(yīng),因?yàn)檩^低的能量會減少電子在樣品表面的積累。

方法:在SEM控制軟件中,將加速電壓設(shè)置為較低值,例如1-5 kV。

3. 使用環(huán)境模式(ESEM)

環(huán)境掃描電子顯微鏡(ESEM)允許在低真空或高壓環(huán)境下進(jìn)行成像。

原理:在樣品腔中引入一定量的氣體(如水蒸氣或氮?dú)猓瑲怏w分子與電子束相互作用,幫助中和表面電荷。

優(yōu)勢:無需對樣品進(jìn)行導(dǎo)電涂層處理,適用于觀察濕潤或敏感樣品。

4. 使用低電流束

降低電子束的電流可以減少樣品表面的電荷積累。

方法:在SEM控制軟件中,將束電流設(shè)置為較低值。

5. 使用導(dǎo)電膠或銀漿

在樣品和樣品臺之間使用導(dǎo)電膠或銀漿,確保樣品與樣品臺之間的良好導(dǎo)電接觸。

方法:將導(dǎo)電膠或銀漿涂在樣品底部或邊緣,然后將樣品固定在樣品臺上。

6. 施加負(fù)偏壓

在某些SEM中,可以對樣品臺施加負(fù)偏壓,幫助中和樣品表面的電荷。

原理:負(fù)偏壓會吸引二次電子和其他電荷載體,從而中和樣品表面的正電荷。

方法:在SEM控制軟件中設(shè)置負(fù)偏壓。

7. 樣品預(yù)處理

一些樣品可以通過預(yù)處理來減少充電效應(yīng)。

烘烤:將樣品在低溫下烘烤一段時間,去除表面吸附的水分和氣體。

清洗:使用溶劑或其他方法清洗樣品表面,去除可能影響導(dǎo)電性的污染物。

8. 使用掃頻電子束

采用掃頻或波形掃描方式,均勻分布電子束,避免在單個區(qū)域積累過多電子。

方法:在SEM控制軟件中設(shè)置電子束的掃描模式。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡如何處理樣品充電效應(yīng)的介紹。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。 

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作者:澤攸科技


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