如何在臺式掃描電鏡中進行多點成像和分析
日期:2024-08-15
在臺式掃描電子顯微鏡(SEM)中進行多點成像和分析是一種常見的操作,特別是在需要分析多個感興趣區(qū)域或在樣品的不同位置進行比較時。以下是如何在臺式SEM中實現(xiàn)這一過程的步驟:
1. 準備樣品
確保樣品已正確安裝在樣品臺上,并且表面清潔。然后,將樣品臺放置在SEM的樣品腔中,并抽真空。
2. 定位樣品
使用SEM的低倍率模式(通常是SEI模式)來找到樣品的大致位置和感興趣區(qū)域(ROI)。然后,可以使用光學(xué)顯微鏡功能(如果配備)來進一步調(diào)整樣品位置。
3. 設(shè)置多點成像
多點成像涉及選擇多個感興趣區(qū)域,然后在每個區(qū)域上進行成像。以下是具體步驟:
方法1:手動選擇和成像
導(dǎo)航到感興趣區(qū)域:使用X-Y樣品臺控制器導(dǎo)航到感興趣區(qū)域。
成像:選擇適當?shù)募铀匐妷骸⑹鲝姸?、工作距離等參數(shù),并進行成像。
記錄坐標:記錄當前樣品臺的X-Y坐標,便于稍后返回此區(qū)域。
重復(fù)操作:移動樣品臺到下一個感興趣區(qū)域,并重復(fù)成像步驟。
方法2:自動多點成像(如果SEM支持)
設(shè)置自動多點成像程序:一些臺式SEM允許用戶預(yù)設(shè)多個點的X-Y坐標。通過軟件界面輸入這些坐標,并設(shè)置自動成像參數(shù)。
執(zhí)行多點成像:啟動程序,SEM將自動移動樣品臺并在預(yù)設(shè)點上進行成像。
4. 圖像和數(shù)據(jù)分析
采集到的圖像可以在SEM自帶的軟件中進行分析。以下是常見的分析操作:
尺寸測量:使用軟件中的測量工具對感興趣區(qū)域的特征進行尺寸測量。
成分分析(如果配備EDS):在每個成像點上執(zhí)行能譜分析(EDS),獲得樣品成分信息。
表面形貌分析:分析表面結(jié)構(gòu),識別顆粒、缺陷或其他表面特征。
5. 保存與導(dǎo)出數(shù)據(jù)
將每個成像點的圖像和分析數(shù)據(jù)保存到SEM的軟件系統(tǒng)中,或者導(dǎo)出為常見的圖像格式(如TIFF、JPEG)和數(shù)據(jù)格式(如CSV、Excel)。
6. 創(chuàng)建報告
在完成所有多點成像和分析后,可以使用SEM軟件中的報告生成功能,將圖像、測量數(shù)據(jù)和分析結(jié)果匯總到一個報告中。報告通常可以導(dǎo)出為PDF或其他文檔格式,便于進一步共享和研究。
7. 復(fù)核與驗證
在必要時,可以返回特定點重新進行成像和分析,以驗證結(jié)果的準確性和一致性。此時,記錄的X-Y坐標可以幫助快速定位之前的成像區(qū)域。
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作者:澤攸科技