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掃描電鏡中如何使用背散射電子增強(qiáng)樣品對(duì)比度

日期:2024-09-09

掃描電子顯微鏡(SEM)中,背散射電子(BSE)可以用于增強(qiáng)樣品的對(duì)比度,尤其是對(duì)不同原子序數(shù)的材料區(qū)分更為顯著。以下是如何利用背散射電子增強(qiáng)樣品對(duì)比度的主要方法:

1. 選擇背散射電子探測器

使用BSE探測器:在SEM中,背散射電子探測器專門用于收集背散射電子信號(hào)。相較于二次電子,背散射電子主要是來自較重的原子核附近,因此能夠提供基于材料成分的對(duì)比度。

位置和幾何配置:確保背散射電子探測器正確放置,通常靠近樣品表面以最大化信號(hào)收集效率。

2. 調(diào)整電子束加速電壓

高加速電壓:背散射電子的生成與入射電子的能量有關(guān)。較高的加速電壓能夠使更多的電子產(chǎn)生背散射,這會(huì)增強(qiáng)不同材料的對(duì)比效果,尤其在樣品內(nèi)部成分的差異較大時(shí)。

適當(dāng)控制電壓:避免過高的電壓,可能會(huì)導(dǎo)致穿透過深,減弱表面信息。

3. 利用背散射電子的Z對(duì)比度

原子序數(shù)對(duì)比(Z對(duì)比):背散射電子的強(qiáng)度與樣品中原子序數(shù)的高低成正比。高原子序數(shù)區(qū)域(如金屬)產(chǎn)生更多的背散射電子,因此在圖像中顯示為亮區(qū),而低原子序數(shù)區(qū)域(如輕元素材料)顯示為暗區(qū)。

材料對(duì)比:利用這種Z對(duì)比度,可以區(qū)分樣品中不同材料或化學(xué)成分的分布,尤其是復(fù)雜合金或多相材料。

4. 優(yōu)化探測器設(shè)置

信號(hào)濾波:有些SEM系統(tǒng)允許對(duì)BSE探測器信號(hào)進(jìn)行一定的濾波或增益調(diào)節(jié),以增強(qiáng)對(duì)比度和降低噪聲。

多個(gè)探測器組合:在一些SEM系統(tǒng)中,可以同時(shí)使用多個(gè)背散射電子探測器,針對(duì)不同角度采集信號(hào),并結(jié)合這些信號(hào)增強(qiáng)圖像對(duì)比度。

5. 結(jié)合二次電子與背散射電子

綜合成像:在一些成像應(yīng)用中,可以同時(shí)采集二次電子(SE)圖像和背散射電子(BSE)圖像,將兩者進(jìn)行對(duì)比以得到更豐富的樣品表面形貌信息與成分對(duì)比度。

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作者:澤攸科技


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