掃描電鏡的樣品臺(tái)傾斜角度如何調(diào)整?
日期:2024-11-04
在掃描電鏡(SEM)中,調(diào)整樣品臺(tái)的傾斜角度可以幫助優(yōu)化圖像的對(duì)比度、觀察表面結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié),以及獲得立體感和更好的斷層視角。樣品臺(tái)的傾斜角度通??梢栽诳刂泼姘逯惺謩?dòng)或自動(dòng)調(diào)整,以適應(yīng)不同的成像需求。以下是具體的調(diào)整方法和注意事項(xiàng):
1. 樣品臺(tái)傾斜控制
手動(dòng)控制:部分 SEM 配有物理按鈕或旋鈕,可以直接手動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)的傾斜角度。通常在顯微鏡的控制面板或樣品艙附近。
軟件控制:許多現(xiàn)代 SEM 通過(guò)軟件控制樣品臺(tái)傾斜。在操作軟件的用戶界面中,可以找到傾斜控制選項(xiàng),輸入所需的角度(例如 0° 到 90°)并執(zhí)行調(diào)整。
2. 常見(jiàn)傾斜角度應(yīng)用
0°(水平):適用于一般成像和樣品表面特征分析。水平放置可以減少視角失真,使得表面觀測(cè)效果更好。
15° – 45°:傾斜角度的設(shè)置能增強(qiáng)表面結(jié)構(gòu)的立體感,尤其適合于觀察樣品的縱深或厚度。例如,顆粒表面觀察或?qū)訝顦悠返某上瘛?/span>
>45°:高角度傾斜用于觀察橫截面或接近垂直的結(jié)構(gòu),適合斷層成像和立體觀察。
3. 調(diào)整步驟
定位樣品:將樣品放置在樣品臺(tái)上,確保牢固固定。
選擇初始傾斜角度:在 SEM 軟件中或使用手動(dòng)控制將樣品臺(tái)傾斜至所需初始角度(如 0°)。
實(shí)時(shí)觀察調(diào)整效果:在 SEM 界面上觀察實(shí)時(shí)圖像,慢慢增加或減小傾斜角度,調(diào)整至所需的觀察效果。
4. 傾斜角度對(duì)成像效果的影響
電子束入射角度:樣品臺(tái)傾斜會(huì)改變電子束入射角度,從而影響樣品的電子發(fā)射效率和圖像對(duì)比度。
表面電荷累積:對(duì)非導(dǎo)電材料,傾斜角度可能影響電荷分布,導(dǎo)致樣品不同區(qū)域的電荷累積變化。合理的角度可以減小充電效應(yīng)。
景深變化:傾斜角度增加會(huì)帶來(lái)一定的景深變化,適當(dāng)?shù)膬A斜可使樣品的不同層面同時(shí)成像清晰。
5. 注意事項(xiàng)
避免樣品與物鏡碰撞:樣品臺(tái)傾斜時(shí)要特別小心與物鏡或探頭之間的距離,以免傾斜角度過(guò)大導(dǎo)致碰撞。
校準(zhǔn)和重新聚焦:傾斜樣品后,需重新對(duì)焦和校準(zhǔn)以獲得清晰的圖像。
樣品穩(wěn)定性:確保樣品牢固固定,以避免傾斜過(guò)程中樣品移動(dòng)或振動(dòng)影響成像質(zhì)量。
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作者:澤攸科技